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　　T 认 立 4、 脚 牛 美国联邦标准209 D简介 机 械 电子 工业部 第十一设计 研 究院周崇德 一、美 国联邦标 准 ( F s)P OgD 的由来 一九五七年 十月四 日世界 上第一颗人 造 地球 卫 星 由苏联发射成功 ，这 个在空 间技术 发展 史 上划时 代 的大 事 ，大大 地 震惊了全 世 界。许 多国家 的决 策人 物 和科 学家 们充 分意 识到，对宇宙 空 间的争 夺将不 可避 免，而 要 争夺宇宙 空间，就 必须 发展空间技术 。 但是 ， 空 间技术 是一 门综合性很 强的新 技术 ，它 涉 及的 领域 很广，诸 如宇航 、 电子 、精 密机 械 等工 业部 门无所不 包，所 以 ，要想 发展空 间 技术 ，就必须 先发展宇 航、 电子 、精 密机 械 等工业 ，而这些工业 的发 展，要受 到生产环 境的 制 约， 所 以， 控制生 产环 境， 势在 必 行。第一 颗人 造地球 卫 星发射 成功，有效 地 促进 了生产环 境 控制 标准 的制定 工作。 第一 个为 公众所承 认的洁 净 室标准是 美国空 军技 术 指 令 N 0． o 。 一 2 三年颁 布的联 邦标准209 奠定 了理 论基础 。 九六三 年十二 月，美 国颁布 了联邦标 准 ( F s ) 209。一九六 六年 八 月发布 了209A 取 代209。七年后 ， 即一九七三 年四 月颁 布了 F S20 9B 。 经 过 四年 的 使 用 ， 到 一 九 七 六 年五 月，发布 了对 F S 209B 的 修改 案NO． 1，明确 增 加 了 i 000级 。 随着科学技术的发展，生产环境控制技 术进 展迅 猛 ， 尤其 是八十 年代 超大 规模集成 电路的集成 度的不 断提 高 ，F S 209B尽管 已经 有了修改 案， 但仍 满足 不 了 再 二 ； 上 一来 ， 大规 模、 I 8 现实和 发展 的需 要，许 多公司和专 家要求 重 新修改F S209B 在这 个前提 下 。 美 国环境 保 护科学 委员 会 ( I E S )写 信给 负责批 准F S20 9的 美国公 用事业 管 理 局(G S A ) ， 申述重新修 改F S 209B的 必要 性，然后 ，IE S 和G S A 联系 、商 治，一 九八 二年 IE S 经G S A 认可 ， 着 手进 ~ F S 20 9B 的 修改 工作 。开始 ， F S209B 的修 改工 作，仅仅 是I E C 内部的工 作人 员 参加 ，只成 立 了工作 组 ，后来 ， 由工 作组扩大 成工作 委员会 ，其 成员 除IE C 内部 工作人 员外 ， 还 有 污染 控制 方面 的权 威专 家 ，也 有粒 子 计数 器 、高效 过 滤器 、洁净 工作台 等净化装 置的 制造者 ，还 有来 自设计 、 鉴定 洁 净室的工 作者。从 部门 来说 ， 有政府 部门 ， 工业 部门 ， 大专 院校 等， 可 以说 ，有 关方面 的 代表都 有 ，并且规 定， 修改 案的确 认必须得 到工作 委员会三 分之 二 的人 的 同意 ，因此，讨 论是冗 长的 L一 有的要 经过反 复几次 论。从一 九八 四年二 月工作 委员会 第一次会议 到一 九八七 年共 开 了八次 会 ，讨论 了十六 个草 案，终 于在一九 八七年 十 月二十七 日经政 府官 员 、联 邦供应处 、公 用事 业管理局 (G S A ) 批 准 ， 颁 由于 印刷上 的错误 ， 八个 月后 ，为 修正这些 错 误，于一 九八 八年六 月十 五 B 颁 布 了F S 20 9D 。 应 该 说 明 ， F S209D 不 是 F S209C 的 补 充或 说 明 ， 而是 取代 F S209C的 标准 ， 所以 ， 美 国联邦机 构的洁 净室 和洁净工 作区的环 境控 制要求现行标准为209D。 恳求这 些公司 和专家 T F S 209C 。 维普资讯